NanoCVD系列台式设备是专为制备高质量的石墨烯与碳纳米管而开发的高性能台式CVD系统。在与诺奖级科研团队的长期合作中获得的丰富经验使该系列产品具有非常高的性能，特别是针对石墨烯、碳纳米管等不同的应用进行了针对性的优化。该系列产品操作简便，生长条件控制精准，生长迅速、制备出的样品具有高质量、高可重复性，这些特点使得该系列产品受到多个石墨烯研究团队的赞誉。该系列产品适合需要制备高质量石墨烯或碳纳米管用于高端学术研究的团队，例如埃克塞特大学、哈德斯菲尔德大学、莱顿大学、亚森工业大学等高校均是nanoCVD系列的用户。
nanoCVD采用全新的设计理念，可以快速、高质量地生产石墨烯或碳纳米管。与传统的简易CVD(管式炉)相比，该系统基于冷壁设计方案，具有以下主要优点:
◎ 系统可以快速的升温和降温。
◎ 更加精准的条件控制和可靠的工艺重现性。
◎ 安全性设计，具有尾气稀释模块。
◎ 智能化设计，全自动引导式触屏操作系统。
◎ 支持自动程序的设定与储存。
◎ 雄厚的技术积累，专业的技术支持。
台式超高质量石墨烯快速制备CVD系统- nanoCVD 8G
nanoCVD-8G系统可能是性能稳定的超快石墨烯生长系统。nanoCVD-8G具有压强自动控制系统，可以精准的控制石墨烯生长过程中的气氛条件。系统采用低热容的样品台可在2分钟内升温1000℃并精准控温。该装置采用了冷壁技术，样品生长完毕后可以快速降温。正是因为这些条件可以让用户在30分钟内即可获得高质量的石墨烯。用户通过HMI触屏进行操作，所有的硬件都是自动化的。更有内置的标准石墨烯生长示例程序供用户参考。该系统安装迅速，非常适合需要持续快速获取高质量石墨烯用于高质量学术研究的团队。埃克塞特大学、哈德斯菲尔德大学、莱顿大学、亚森工业大学等很多全球的高校都是该系统的用户。
主要特点： ◎ 合成高质量、可重复的石墨烯 ◎ 生长条件精准控制 ◎ 高温度：1100 °C ◎ 生长时间：<30 min ◎ 基片尺寸大：20 × 40 mm2 ◎ 全自动过程控制 ◎ MFC流量计控制过程气体 (Ar、H2与CH4) ◎ 用户友好型触屏控制 ◎ 可设定、存储多个生长程序 ◎ 可连接电脑记录数据 ◎ 易于维护 ◎ 全面安全性设计，尾气稀释模块 ◎ 兼容超净间 ◎ 系统性能稳定 |
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小型等离子增强大尺寸石墨烯制备CVD系统 - nanoCVD WPG
nanoCVD-WPG将nanoCVD-8G高质量石墨烯生长的功能与等离子体增强技术相结合，系统可制备晶圆尺寸(3英寸或4英寸)级别的样品。除此之外，利用该系统精准的生长控制条件可以制备多种高质量的2D材料，该系统是小型CVD系统性能上的一个重大飞跃。全新的设计方案和控制系统使该系统成为制备大面积2D样品的上佳选择。
应用领域包括:石墨烯和2D材料、光伏电极、触屏材料、高性能生物电子材料、传感器、储能材料。
主要特点： ◎ 晶圆级样品尺寸: 3英寸、4英寸 ◎ 150 W/13.56 MHz RF 电源 ◎ 多个等离子体电极 ◎ 高温度1100 °C ◎ 腔体冷壁技术 ◎ 全自动精准条件控制 ◎ 用户友好的触屏操作 ◎ 可设定、存储多个生长程序 ◎ 可连接电脑记录数据 ◎ 易于维护 ◎ 全面安全性设计，尾气稀释模块 ◎ 兼容超净室 ◎ 基于成熟的NanoCVD技术 生长条件： ◎ 衬底：Cu、Ni等薄膜或薄片 ◎ 工作原料：CH4，C2H4， PMMA等 ◎ 保护气体：H2，Ar，N2等 典型配置指标： ◎ 腔体：腔壁水冷技术，热屏蔽不锈钢腔体 ◎ 真空系统：分子泵系统，5×10-7 mbar本底真空。 ◎ 样品台：大4英寸直径，高1100°C ◎ 操作控制：触摸屏/电脑接口；可手动控制或自动控制 ◎ 气体控制：MFC 流量计，Ar，CH4，H2为标配种类。 ◎ 过程控制：自动控制 ◎ 等离子源：150 W/13.56 MHz RF 电源，样品台附近或需要的位置产生等离子体。 ◎ 安全性：冷却与真空锁系统，气体稀释模块。 |
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台式超精准碳纳米管快速制备CVD系统 - nanoCVD 8N
nanoCVD-8N与石墨烯生长系统nanoCVD-8G有诸多共同之处，并针对碳纳米管生长条件进行了优化。这些条件对于碳纳米管(CNT)样品的质量和可重复性(主要是单壁形式)是关重要的。创新的冷壁式腔体与传统管式设备相比更易精准控制实验条件和快速升降温。nanoCVD-8N具有智能的控制系统和完备的安全性设计。设备易于安装，易于使用，是快速进入高质量研究的理想选择。该系统获得沃里克大学用户的高度赞誉。
碳纳米管可采用Fe、Co、Ni的纳米颗粒作为催化剂生长在SiO2/Si, Si3N4以及石英等衬底上。
通过衬底与催化剂的选择，可以生长的碳纳米管有：
• 随机: 随机方向的相互交叠的单壁碳纳米管
• 有序: 平行的单壁碳纳米管
• 竖直: 竖直的单壁碳纳米管束
主要特点： ◎ 合成的碳纳米管具有很高的可重复性； ◎ 专门为单壁碳纳米管进行了优化； ◎ 生长条件精准控制； ◎ 高温度：1100 °C； ◎ MFC流量计控制过程气体 (Ar、H2与CH4)； ◎ 基片尺寸：大20 × 40 mm2； ◎ 生长时间：<30 min； ◎ 全自动生长条件精准控制； ◎ 用户友好型触屏； ◎ 可设定、存储多个生长程序 ◎ 可连接电脑记录数据； ◎ 易于维护； ◎ 全面安全性设计，尾气稀释模块； ◎ 兼容超净间； ◎ 系统性能稳定； |
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■ 高质量单层石墨烯的制备与传感器（Adv. Mater. 2015, 27, 4200–4206）
埃克塞特大学Monica F. Craciun教授课题组早利用石墨烯快速制备系统对各种实验条件进行了验证，在本工作中作者成功制备出了高质量的单层石墨烯。并测量了石墨烯的物理性质。
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左，石墨烯在SiO2/Si衬底上的光学图像；中，SiO2/Si衬底上石墨烯拉曼光谱；右，纵向电阻与分数量子霍尔效应
左，利用石墨烯制备的电容式柔性压力传感器；右，36克重物负载下传感器的电容变化
■ 透明导电纤维的制备与新材料的开发（Scientific Reports 2015, 5, 9866）
本工作中作者在透明有机物衬底上覆盖石墨烯导电层，制备了透明的导电材料。这对于石墨烯的应用和未来可穿戴设备的发展都是非常重要的探索。
上，石墨烯透明导电样品的制备过程；左，样品弯曲程度与电阻率的关系；右，透明导电器件的展示。
埃克塞特大学 |
哈德斯菲尔德大学 |
莱顿大学 |
亚琛工业大学 |
