应用方向
1. 热设计用薄膜热导率评价的优先选择。
low-k薄膜，有机薄膜，热电材料薄膜
2. 可用于评价热电转换薄膜
测量原理
当使用频率为f的电流周期加热金属薄膜时，热流的频率将为电流频率的2倍（2f）。如果样品由金属薄膜（0）-样品薄膜（1）-基体（s）组成（如图），可由一维热导模型计算出金属薄膜上表面的温度变化T(0)。
假设热量全部传导到基体，则T(0)可由下式计算：
（λ/Wm-1K-1，C/JK-1m-3，q/Wm-3，d/m，ω（=2πf）/s-1）
式中实部（同相振幅）包含样品薄膜的信息。如热量全部传导到基体，则同相振幅正比于(2 ω)0.5，薄膜的热导率（λ1）可由下式给出：
（m：斜率，n：截距）
设备参数
1. 测试温度：室温
2. 样品尺寸：长10～20mm，宽10mm
厚0.3～1mm（含基体）
3. 基体材料：Si（推荐）
Ge，Al2O3（高热导率）
4. 样品制备：样品薄膜上需沉积金属薄膜（100nm）
（推荐：金）
5. 薄膜热导率测量范围：0.1～10W/mK
6. 测试氛围：大气
设备概念图
样品准备
Si基底上的SiO2薄膜（20-100nm）测量结果
| d1 / nm | 19.9 | 51.0 | 96.8 |
| λ1/ W m-1 K-1 | 0.82 | 1.03 | 1.20 |
