美国Lake Shore公司成立于1968年，是极端温度和磁场条件下材料表征测量和控制解决方案的创新引领者。其主要产品包括：低温探针台、振动样品磁强计、霍尔效应测量系统、低温恒温器、低温控温仪、低温传感器、高斯计等。
美国Lake Shore公司的低温探针台能够提供精确的环境控制、可重复的测量，是全球科研工作者们值得信赖的伙伴。所有Lake Shore的探针台都经过了专有的热学设计，以确保样品的温度在测试时获得尽可能高的置信度。使用ZN50R-CVT探头，能有效减少热胀冷缩效应，确保在大范围温度变化时针尖位置保持稳定，使其在连续可变的温度下进行无人值守测量成为可能。
Lake Shore低温探针台主要用于电学、磁学、微波、THz、光学等多种测量，可以根据客户需要，选择不同的温度和磁场配置。客户可以选择自己搭配测试仪表集成各类测试，也可以选择我们的整体测试解决方案，如电输运测试、半导体分析测试、霍尔效应测试、铁电分析测试，集成光学测试等。
Lake Shore低温探针台主要特征
◇ 最大±2.5T磁场，可定制5T磁场
◇ 低温至1.6K，高温至675K
◇ 最大可测8英寸晶圆样品
◇ 最高67GHz高频探针
◇ 3 kV 高电压探针
◇ 大温区低温漂探针
◇ 真空腔联用传送样品
◇ ＜30 nm低振动适用于显微光学测量
◇ 霍尔效应、铁电、半导体分析测试选件
Lake Shore低温探针台选型指引
| 型号 | 磁场 | 最大探针臂数 | 标准温度范围 | 可选高温 | 可选低温 | 最大样品尺寸 | 真空 | 样品台旋转 |
无液氦低温探针台 | ||||||||
0.6 T 水平磁场 电磁铁 | 4 | 8 K ~ 400 K | — | — | 25 mm (1 in) 直径 | 10-5 torr | ±360° （可选) | |
2.5 T 垂直磁场 超导磁体 | 6 | 10 K ~ 500 K， <10 K ~ 400 K （同Load Lock使用时） | — | — | 51 mm (2 in) 直径 | 10-5 torr 标准, 10-7 torr 可选 | — | |
— | 6 | 4.5 K ~ 350 K | 20 K to 675 K | — | 51 mm (2 in) 直径 | 10-5 torr | — | |
— | 6 | <10 K ~ 350 K | 20 K to 675 K | — | 51 mm (2 in) 直径 | 10-5 torr | — | |
（消耗制冷剂）低温探针台 | ||||||||
— | 6 | 4.5 K ~ 475 K | — | 3.5 K | 102 mm (4 in) 直径 | 10-5 torr | ±5° | |
0.6 T 水平磁场 电磁铁 | 4 | 4.5 K ~ 400 K; 8 K ~ 400 K 同360°旋转选件使用时 | — | 3.2 K | 25 mm (1 in) 直径 | 10-5 torr | ±360° (可选) | |
2.5 T 垂直磁场 超导磁体 | 6 | 4.2 K ~ 400 K, <10 K ~ 400 K 同Load Lock使用时 | — | 2 K | 51 mm (2 in) 直径 | 10-5 torr 标准 10-7 torr 可选 | ±5° | |
— |
6 | 4.2 K ~ 475 K <10 K ~ 400 K 同Load Lock使用时 |
— | 低温:1.9 K 极低温: 1.6 K | 51 mm (2 in)直径 12.7 mm (0.5 in)连接Load Lock | 10-5 torr 标准 10-7 torr 可选 |
±5° | |
— | 6 | 4.2 K ~ 475 K | 20 K to 675 K | 3.2 K | 51 mm (2 in) 直径 | 10-5 torr | — | |
— | 4 | 4.2 K ~ 475 K | — | 3.2 K | 32 mm (1.25 in) 直径 | 10-5 torr | — | |
无液氦低温探针台
√ 温度范围4.5 K~350 K，可选高温至675 K √ 低温操作 √ 降温中尽可能减少样品冷凝 √ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102mm）可选 √ 环形磁体选件最大0.19T |
√ 温度范围＜10 K~350 K √ 可选高温至675 K √ 降温中尽可能减少样品冷凝 √ 最大2英寸（51 mm）样品 √ 环形磁体选件最大0.19T |
√ 温度范围8 K~400 K √ 水平磁场±0.6 T √ 最大1英寸（25.4 mm）样品 √ 无需系统降温即可施加磁场 √ 样品360°旋转磁各向异性测试 |
√ 温度范围10 K~500 K √ 垂直磁场±2.5 T √ 最大2英寸（51 mm）样品 √ 90°探针样品测量 √ 霍尔效应测试选件 √ 超高真空选件 √ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境 |
（消耗制冷剂）低温探针台
√ 温度范围4.5 K~475 K，可选低温3.5 K √ 样品快速测量 √ 标准4英寸（102 mm）样品，6英寸（152 mm）可定制 √ 样品可面内±5°旋转 √ 样品振动＜30 nm |
√ 温度范围4.3 K~475 K √ 可选低温1.9 K/1.6 K √ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102 mm）可定制 √ 样品可面内±5°旋转 √ 样品振动＜30 nm可选 √ 超高真空选件 √ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境 √ 环形磁体选件最大0.19T |
√ 温度范围4.3 K~475 K √ 可选低温3.2 K，可选高温675 K √ 标准2英寸（51 mm）样品 √ 紧凑型桌面设计 √ 样品振动＜30 nm可选 √ 环形磁体选件最大0.19T √ 允许样品背光接入 |
√ 温度范围4.3 K~475 K √ 可选低温3.2 K √ 标准1.25英寸（32 mm）样品 √ 紧凑型桌面设计 √ 快速交货 √ 样品振动＜30 nm可选 √ 环形磁体选件最大0.19T |
√ 温度范围4.5 K~400 K，可选低温3.2 K √ 水平磁场±0.6 T √ 最大1英寸（25.4 mm）样品 √ 无需系统降温即可施加磁场 √ 样品360°旋转磁各向异性测试 |
√ 温度范围4.3 K~400 K，可选低温1.9 K √ 垂直磁场±2.5 T √ 最大2英寸（51 mm）样品 √ 样品可面内±5°旋转 √ 样品振动＜30 nm可选 √ 90°探针样品测量 √ 霍尔效应测试选件 √ 超高真空选件 √ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境 |
√ 无液氦超导磁体3 T/5 T √ 最大8英寸晶圆样品 √ 高电压测量至3 KV √ 室温真空探针台 √ 真空腔联用转移样品 √ 其他定制化需求请联系我们 |
