飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory

飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory


Femtika公司设计并生产的飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory是一款集增材与减材制造于一体的综合微纳加工系统。与传统的微纳3D打印设备相比,Laser Nanofactory不仅可用于光子学聚合物微纳结构的加工,还可以用于石英,陶瓷,玻璃和金属等材料从毫米到微米尺度的精确加工。设备加工速度可高达50mm/s,加工精度优于100nm,还可实现不同加工工艺间的无缝切换。得益于Femtika先进的飞秒激光技术,Laser Nanofactory在进行微纳加工时所产生的热效应小,加工出的结构边缘锐利,因此特别适合微纳结构的加工。

应用领域


•  微纳光学

•  微流控

•  微纳机电器件(M/NEMS)

•  纳米技术

•  生物医药

•  通讯技术

•  传感器件

•  材料表面改性

......


Laser Nanofactory技术参数


飞秒激光

波长

1028 nm ± 5 nm和514 nm ± 5 nm

脉冲持续时间

<290 fs -   10 ps

脉冲能量

>65 μJ

最大平均功率

>4 W

重复率

60 - 1000 kHz

冷却方式

气冷

定位平台

XY方向移动范围

160 mm x 160 mm

Z方向移动范围

60mm

XYZ正交性

3 arc sec

分辨率

1 nm (XY), 2   nm (Z)

最高速度

350 mm/s   (YX), 200 mm/s (Z)


Laser Nanofactory制备的多光子聚合物3D结构

 

Laser Nanofactory选择性刻蚀结果展示


Laser Nanofactory在样品上进行激光烧蚀


Laser Nanofactory对器件中的不同材料采用不同加工技术(无缝切换)

Laser Nanofactory在光子聚合物、玻璃、化学刻蚀等领域的应用!

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