产品特点:


*  采用四电弧法加热

*  可实现2000~3000°C高温

*  适用于金属间化合物材料


基本参数:


样品腔:

可实现高温:2000~3000°C*

气氛:Ar

腔室压强范围:10-4 Pa~1Atm

材料:不锈钢

冷却:水冷


提拉杆:

提拉生长速度:3-38mm/hr

转动速度:1-15rpm

行程:150mm


电弧电流:

可持续工作电流可高达:75A(可调) 

短时间工作电流可高达:150A(可调) 

晶体生长电极数量:4个

吸气电极数量:1个


坩埚:

转动速度:1-10rpm

行程:40mm(手动控制)

*温度取决于工艺条件和材料


工作原理图


真空系统


摄像头实时观察晶体生长状态


相关新闻

请您留言

欢迎访问Quantum Design中国,请留下您的单位+电话+姓名+咨询详情,我们收到留言后会第一时间回复您哦~

提交