皮米精度激光干涉仪-IDS3010
皮米精度激光干涉仪-IDS3010

皮米精度激光干涉仪-IDS3010

德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上,最新推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激光干涉仪。与FPS型号干涉仪相似,IDS型号同样适用于极端环境如高真空与高辐射环境并且具有极高精度与极高采样速率。IDS产品是适合工业集成与工业网络无缝连接的理想产品。产品在工业应用中具有广泛范围前景,包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量等。 


德国国家计量院(PTB)对IDS3010激光干涉仪的精度进行了认证。值得指出,在0-3米的工作距离内, IDS激光干涉仪的的测量数据与德国计量院激光干涉仪数据完全一致。德国计量院的认证使得IDS激光干涉仪的测量数据满足德国国家标准,使得IDS更加理想的成为位移台鉴定与机器加工等领域的测量工具。


IDS3010激光干涉仪应用领域


IDS3010充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要,可应用于

长度测量、同步辐射、精密仪器、半导体工业以及显微镜。



IDS3010激光干涉仪产品特点 


+  设计紧凑(50mm x 55mm x 195mm),适合工业集成

+  工业化界面,含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面

+  测量速度快,定位样品采样带宽10MHz

+  环境补偿单元,不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度

+  校正简单,配备可见激光(650nm)用于校正测量激光(1530nm)

+  测量精度高,探测器分辨率高达1 pm



IDS3010激光干涉仪主机尺寸与接口


光纤式激光探头 


IDS系列激光干涉仪可提供不同型号探头(探头尺寸,光斑大小不同)。
探头直径范围:1.2mm – 22mm。典型准直激光光斑:1.6mm, 典型聚焦激光光斑:70 mm。
最低工作温度:10mK, 1E-10mBar超高真空适用, 10MGy强辐射环境适用。

激光探头技术参数表(点击具体型号下载PDF详细参数):


激光探头型号尺寸mm
 (直径与长)
工作距离
(低反射,高反射材料)
激光类型
(聚焦、准直)
 光斑大小

D1.2/F7

Ø 1.2;
7.5
5-9 mm
30-45 mm
聚焦,
焦距7mm
70μm@7mm
D4/F8Ø 4;
11.5
6-10 mm
15-30 mm
聚焦,
焦距8mm
70μm@8mm
D4/F13Ø 4;
11.5
11-15 mm
30-45 mm
聚焦,
焦距13mm
70μm@13mm
D12/F2.8Ø 12;
32.3
2.8 mm聚焦,
焦距2.8mm
2μm@2.8mm
M12/C1.6Ø 14;
17.4
0-1000 mm准直1.6mm
M15.5/C1.6Ø 22;
20.6
0-1000 mm准直1.6mm
M12/C7.6Ø 14;
49.3
0-5000 mm准直7.6mm



■  皮米精度激光干涉仪IDS3010在相位调制器的精密调制和控制上的应用


相位调制器是相干合成孔径望远镜中光束合成机构的关键部件。提高相位调制器的调制精度和控制带宽有助于提高合成孔径望远镜的成像分辨率。相位调制器运动信息包括俯仰角、方位角和轴向位移3个自由度。目前3个或者多个自由度的实时测量还处于发展阶段。同时实现多自由度测量更是少之又少。

来自中国科学院光电技术研究所光束控制重点实验室的方国明课题组采用德国attocube system AG公司的三轴皮米精度激光干涉位移传感器IDS3010通过获取待测目标平面内3个不共线点的位移量,而3个不共线的点可确定平面的法线,基于平面法线的唯一性可解,从而可以获得目标的3个自由度运动信息,包括方位角、俯仰角和轴向位移。成功实现了三自由度的同时实时测量。

图示: 三自由度测量原理示意图




■  皮米精度位移测量激光干涉仪助力声子四极拓扑绝缘体观测


电荷极化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带,它预言二维量子化的四极绝缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙地利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑绝缘体,首次在实验上观测到了声子四极拓扑绝缘体。这一具有重要意义的结果第一时间被刊登在nature上。研究人员通过测试一种机械超材料的体、边缘和拐角的物理属性,发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。

图示:实验装置示意图


参考文献:Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)




■  激光干涉仪检测纳米精度位移台


误差在实际生产中的存在可能导致损失以及客户对产品信心的丢失。光学传感器可以在质量检测中帮助减少误差产生提高成品率。attocube激光干涉仪是理想的可在各个领域提供高精度探测来减少误差的一种光学传感器。

作为纳米精度位移台供应商的德国attocube公司,对位移台的精密移动的测量与鉴定是一个非常重要的任务。例如,下图左,ECS3030型号的线性位移台可在真空中进行位移。ECS3030位移台的行程是20mm。技术参数要求的是可重复精度小于50nm。利用attocube激光干涉仪对位移台上样品进行测量,位移台被程序控制来回往复移动1mm,在20mm的行程内在多个不同地点进行来回往复移动。测量结果如下图中所示。通过分析,左图中的数据提取的偏差值是13.2nm,下图右数据的直方图显示标准差是13nm。因此,位移台的可重复性技术指标是合格的。

通过使用attocube激光干涉仪可以实施对于纳米精度位移台ECS3030的全自动测量。这已经是德国attocube公司对于位移台的质量检测手段。并且,这样一个简便与实用的传感器可以直接集成到生产线中去提供高产出的质量检测。

   




■  激光干涉仪组建高精度X射线显微镜


同步辐射中心具有广泛的应用领域,生物科技(蛋白质结构),医学研究(微生物),工程研究(裂纹的变化观测),先进材料(纳米结构测量)等。以上应用需要高精度去驱动聚焦镜,样品,光学狭缝等物品(下图左),这样的机械结构需要减少热漂移与定位误差。

德国attocube公司的激光干涉仪具备皮米精度分辨率,激光探头可在真空环境中使用,是同步辐射研究的良好选择。在现有激光探头中,标准激光探头M12是已经被证实可以在辐射环境中使用(最大10MGy)。美国布鲁克海文实验室E. Nazaretski等人结合attocube激光干涉仪与纳米精度位移台搭建了X射线扫描成像显微镜(下图中)。通过attocube激光干涉仪作为实时检测与反馈位移台移动的工具,科学家实现了0.5nm的步进扫描(下图右)。并且,在真空环境中,系统的热漂移达到了2nm/h。

综上所述,高精度的X射线显微镜可以实现纳米精度扫描成像,是实现硬X射线区域光学研究的有力工具。该显微镜使得X射线荧光光谱纳米精度成为了现实。

   


参考文献:E. Nazaretski , et.al. J. Synchrotron Rad. (2015). 22, 336–341

 


 

■  激光干涉仪无损探测轴承误差


旋转物体的运动误差分析是高精度机械工程领域的一个主要兴趣之一。如果是高速旋转的转子,甚至1纳米的误差就会产生不想要的振动与运动误差。因此,纳米精度的运动误差监测是机械工程领域前沿的重要研究课题。一个主要的难题是:如何减小运动误差?

为了减小误差,首先需要测量误差。

德国attocube公司的激光干涉仪可以提供一个无损,紧凑并且一插即用的解决方案。通常的线性位移测量需要一个平整的表面,而旋转运动的时候,遇到的是一个曲面(右图上)。attocube激光干涉仪测量的是一个直径为10mm的电动转子。由于attocube激光干涉仪的探头具有较大的容忍角度,激光探头很容易完成了校准并开始进行测量。转子转速为2160转每秒,两个激光探头对转子的运动误差进行了测量。右图下显示的为测量结果,红色实线为平均位置,而虚线显示了误差为5微米的两个圆环。黑色实现为实际测量数据。

德国attocube公司的激光干涉仪软件使用界面友好,可提供亚纳米级别的运动误差校正方案。即使是新用户,对于其激光干涉仪的使用也会很快熟悉。

  

 

参考文献:Review of scientific instruments, 84, 035006 (2013)

 


 

■  激光干涉仪校正极低温非线性扫描


通常扫描台在室温下扫描50微米 x 50微米的范围时候不会有显著的非线性效应。但是当在极低温环境(4K或更低)中,压电陶瓷本身的性能发生变化,会产生下图右中的非线性扫描现象。

通过德国attocube公司的激光干涉仪,可以在极低温环境下使用激光探头对扫描台的扫描运动进行实时检测(高速扫描)。结合对扫描台的施加电压进行实时反馈控制,可解决低温下非线性扫描问题。

 

 



 

更多应用案例,请您致电010-85120280 或 写信至 info@qd-china.com获取。


■  实验数据,皮米精度的稳定性


图1  77mm长的腔在20个小时内的实验测量数据表明数据误差范围在55pm



■  测量速度快,定位样品采样带宽10MHz


图2  样品移动速度2米/秒,移动范围1m

attocube公司产品以其稳定的性能、极高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定,在全球范围内有超过了130多位低温强磁场显微镜用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎.....


国内部分用户


北京大学
中国科技大学
中科院物理所
中科院武汉数学物理所
中科院上海应用技术物理研究所
复旦大学
清华大学
南京大学
中科院半导体所
上海同步辐射中心
北京理工大学
哈尔滨工业大学
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所……



国外部分用户






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