多功能磁控溅射喷金仪—nanoEM

多功能磁控溅射喷金仪—nanoEM



nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的一款高精度的磁控溅射喷金仪。该系统可配备SEM样品托、TEM网、普通样品等多种专用样品台,满足各种高精度的喷金或电极生长需求。除了溅射金属电极外,nanoEM还具有的拓展空间,虽然作为台式设备,nanoEM配备了输出功率可达300W的溅射源,系统还可选择样品台旋转、样品倾斜、自动压强控制等多种功能。丰富的选件和配置可以满足学术研究的多种样品生长需求,可升级成为一台多功能的磁控溅射薄膜制备系统。该设备作为灵活的高精度金属溅射仪备受各大实验室的青睐。


主要特点:

◎  能够达到学术研究级的多功能喷金仪

◎  SEM托、TEM网、普通样品多种专用样品台可选

◎  可安装两个2英寸溅射源

◎  通用的溅射靶材

◎  本底真空<5×10-7 mbar

◎  流量计精确控制生长气氛

◎  可调式DC溅射源,输出功率可达300W

◎  全自动,引导式触屏控制

◎  完备的安全性设计

◎  易于维护

◎  兼容超净室

◎  稳定的性能表现


系统选件:

◎  腔体视窗

◎  真空泵型号可选

◎  气压全自动控制系统

◎  溅射源挡板

◎  等离子体辉光电极

◎  样品台旋转与倾斜

◎  晶振膜厚监测系统