聚焦科技：QD中国引进石墨烯/二维材料电学性质非接触快速测量全新技术
发布日期：2020-04-02
西班牙Das-Nano公司成立于2012年，是一家专注研发高安全级别打印设备、太赫兹无损检测设备以及个人身份安全验证设备的高科技公司。近日，该公司重磅推出了全球可以实现大面积（8英寸wafer）石墨烯和其他二维材料的100%全区域无损非接触快速电学测量系统-ONYX。
石墨烯/二维材料电学性质非接触快速测量系统-ONYX 设备图
ONYX采用一体化的反射式太赫兹时域光谱技术（THz-TDS）弥补了传统接触测量方法（如四探针法- Four-probe Method，范德堡法-Van Der Pauw和电阻层析成像法-Electrical Resistance Tomography）及显微方法（原子力显微镜-AFM, 共聚焦拉曼-Raman，扫描电子显微镜-SEM以及透射电子显微镜-TEM）之间的不足和空白。ONYX可以快速测量从0.5 mm2到~m2的石墨烯及其他二维材料的电学特性，为科研和工业化提供了一种颠覆性的检测手段。与其他大面积测试方法（例如四探针方法）相比，ONYX能够测量样品质量的空间分布信息，并且属于无损测试，在实验过程中不会对样品产生任何损伤。与传统显微方法相比，对大面积的样品可以以微米级的空间分辨率快速表征，能够的节约测量时间，提高效率[1,2]。
ONYX参数及特点
样品大小: 10x10mm-200x200mm 超快测量速度：12cm2/min 样品100%全覆盖测量 无需样品制备 | 可定制样品测量面积(m2量级) 高分辨率：50μm 非接触快速测量 无损快速测量 |
ONYX主要功能
→ 直流电导率（σDC） → 载流子迁移率, μdrift → 直流电阻率, RDC | → 载流子浓度, Ns → 载流子散射时间，τsc → 表面均匀性 |
ONYX应用方向
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| 石墨烯 | 光伏薄膜材料 | 半导体薄膜 | 电子器件 |
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| PEDOT | 钨纳米线 | GaN颗粒 | Ag 纳米线 |
目前，ONYX在国际知名研究机构和工业化领域已经安装多套设备，包括：丹麦技术大学（DTU），牛津仪器，德国BOSH公司，LG化学，3M公司，西班牙Graphenea公司等。Quantum Design中国子公司也于2020年正式将该产品引进中国，为中国客户提供高效的技术支持和解决方案，欢迎广大科研工作者垂询。
参考文献
[1] Cultrera, A., Serazio, D., Zurutuza, A. et al. Mapping the conductivity of graphene with Electrical Resistance Tomography. Sci Rep 9, 10655 (2019).
[2] Melios, C., Huang, N., Callegaro, L. et al. Towards standardisation of contact and contactless electrical measurements of CVD graphene at the macro-, micro- and nano-scale. Sci Rep 10, 3223 (2020).
