真正的超高真空低温扫描隧道显微镜，该系统提供了多种分析功能、配备了多个超高真空室和相应的电子控制单元与软件，可以地满足客户全面的研究应用需要。
基本系统中提供了低温4探针扫描隧道显微镜（STM），扫描电子显微镜（SEM），样品准备室和用于传输样品和针尖的快速进样室。其他的设备如扫描俄歇显微镜（SAM）也可选配以满足客户特别的研究需要。
左图是RHK Tech.为美国橡树岭国家实验室安装的四探针UHV STM系统，配备有：高分辨率的UHV SEM，扫描俄歇分析器（用于XPS、UPS、ISS、Auger和SAM中）。多个空余端口，独立的准备室，剩余的空间可以与其他的沉积设备结合。
测试22
仪器特点：
- 四个探针都能实现原子分辨；
- 真正的样品和针尖低温操作（10K），得到优质的高分辨谱图；
- 探针与样品独立地传输与准备；
- 所有探针具有先进的控制操作；
- 用户可编程控制的开放性控制环境；
- 制冷采用Bath Cryostat构造，地减少了液氦的消耗；
- 可升级到非接触式AFM；
- 样品台处配有可选择的超导磁体；
- 通过光纤实现样品的光学激发。
技术参数：
- 样品温度：10K（LHe）； 80K（LN2）
- 扫描范围：1.5µm（300K）；500nm （10K）
- X，Y，Z粗进针：±1.5mm/step motion
- 样品定位精度：±1.5mm
- STM分辨率：四个探针均可实现HOPG的原子分辨
- SEM分辨率：小于20nm
- 针尖材料：钨或者铂、金等金属修饰的钨针尖。
碳纳米管输运性质测量
