CRX-6.5K无液氦低温探针台

CRX-6.5K无液氦低温探针台

CRX-6.5K兼顾了无液氦操作的便利性和Lake Shore产品的可靠性,为用户提供了一种低成本、通用的解决方案。它使用独立的闭循环制冷机,开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。它的多功能性和经济性使CRX-6.5K成为世界各地许多研究人员的首选工具。

 

I-V、C-V和微波测量在CRX-6.5K上是标准的。双级闭循环制冷机允许样品在冷却过程中保持在较高温度,降低了样品冷凝的可能性,这是测量有机材料的关键要求。

 

CRX-6.5K可在8 K至350 K的温度范围内工作,并可选择扩展20 K至675 K的高温范围。该系统可容纳直径高达51 mm(2 in)的完整晶圆片和部分晶圆片。探针、测试电缆、样品座和选件的广泛选择使其能够满足多种特定的测量应用。

 


主要参数及描述

 

温度范围


安装2个探针臂

基础温度8 K,控制范围8.5 K ~   350 K

安装4个探针臂

基础温度9 K,控制范围9.5 K   ~   350 K

安装6个探针臂

基础温度10 K,控制范围10.5 K ~   350 K

安装PS-HTSTAGE选件(与样品背面偏压不兼容)

基础温度20 K,控制范围20 K   ~   675 K

温度稳定性


基础温度 (无加热控制)

未说明

<10 K

±25 mK

11 K ~ 350 K

±10 mK

351 K ~ 675 K

±50 mK

真空


室温

<5×10-4 Torr

基础温度

<1×10-5 Torr

最高温度

<5×10-5 Torr

循环时间


总循环

6.25 h

抽真空

0.5 h

探针台冷却

3.5 h

探针台升温

2.25 h

样品


最大尺寸

51 mm(2英寸)

样品背光接口

不可选

样品旋转

不可选

样品振动

<2 μm

探针配置


最大探针数

6

探针臂温度计

用于监视探针臂的温度

冷却探针支架

<20 K(样品在基础温度下)

探针支架

连接样品台热沉

探针臂支架

连接防辐射屏热沉

DC/RF探针

电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量

微波探针

频率范围从DC到67GHz

光纤探针

可用于电光测量

落针范围

所有探针均可在直径为25.4 毫米(1 英寸)的圆内落针

 


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