CRX-VF无液氦超导磁体探针台

CRX-VF无液氦超导磁体探针台

Lake Shore的CRX-VF是一款无液氦闭循环制冷的探针台,它增加了±2.5T的超导磁体,可以进行C-V、I-V、微波和电光探测,以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CRX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CRX-VF可在直径达51毫米(2英寸)的晶圆上实现真正的90°晶圆探测。样品可在冷却过程中保持较高温度,降低了样品冷凝的可能性,这是测量有机材料的关键要求。

 

CRX-VF可在10 K至500 K的温度范围内工作,它使用独立的闭循环制冷机,开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。该系统为寻求兼顾无液氦操作的便利性和Lake Shore产品可靠的测量性能的用户提供了完整的解决方案。

主要特征

 

√  温度范围10 K~500 K

√  垂直磁场±2.5 T,可定制3T以上磁场

√  最大2英寸(51 mm)样品

√  90°探针样品测量

√  霍尔效应测试选件

√  超高真空选件

√  可定制真空腔联用转移样品,避免样品暴露在大气环境


主要参数及描述

 

磁场


磁体类型

超导螺线管

磁场方向

垂直方向(垂直于样品面)

磁场控制

电流控制

磁场大小

最大±25 KOe(±2.5 T)

磁场均匀性

0.5% 10 mm直径;1% 25 mm直径

探针针尖移动

<5 μm 整个磁场范围内

温度范围


±2.5 T

温度10 K

±2 T

温度范围11 K ~ 400 K

±1 T

温度范围401 K ~ 500 K

以上温度范围在最大安装6个探针臂情况下有效


温度稳定性


基础温度 (无加热控制)

未说明

<10 K

±50 mK

10 K ~ 500 K

±10 mK

真空

以TPS-FRG分子泵为标准

PS-HV-CPX高真空选件

抽真空时间

90 min (<1 × 10-3 Torr)

30 min (<1 × 10-3 Torr)

室温下

<5 × 10-4 Torr

<5 × 10-6 Torr

基础温度

<1 × 10-5 Torr

<5 × 10-7   Torr

最高温度

<5 × 10-5 Torr

<5 × 10-7 Torr

循环时间


总循环

8.5 h

抽真空

1.5 h

探针台冷却

5 h

探针台升温

2 h

样品


最大尺寸

51 mm(2英寸)

样品背光接口

不可选

样品旋转

不可选

样品振动

<1 μm

探针配置


最大探针数

6

探针臂温度计

用于监视探针臂的温度

冷却探针支架

<50 K(样品在基础温度下)

探针支架

连接防辐射屏热沉

探针臂支架

连接防辐射屏热沉

DC/RF探针

电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量

微波探针

频率范围从DC到67GHz

光纤探针

可用于电光测量

落针范围

所有探针均可在直径为 25.4 毫米(1 英寸)的圆内落针