前沿突破！AFM-SEM-EDS 三合一原位技术，打破科研边界

发布日期：2024-09-19

在多数情况下，为明确不同参数之间的关联性，样品分析通常需要借助多种技术手段。美国Quantum Design研发推出的AFM/SEM二合一显微镜——FusionScope将原子力显微镜（AFM）、扫描电子显微镜（SEM）等多种技术深度融合，能够轻松地揭示来自同一目标区域样品的不同特性。近期，Quantum Design在设备原有功能之上，全新研发引入了能量色散射线光谱（EDS/EDX）。通过平台特有的统一坐标系，系统可提供AFM-SEM-EDS原位相关解决方案，对半导体行业，材料制造，地球科学，生命科学以及制药行业等领域都具有潜在应用价值。

AFM/SEM二合一显微镜-FusionScope

AFM-SEM-EDS原位相关功能配备了基于硅漂移探测器（SDD）的X射线探测器，为记录单个光谱和元素图提供了高能量分辨率。其电子阱具有优化几何形状，能够最大程度地提高X射线收集效率，并最大限度地减少杂散射场。该系统能够进行原位AFM-SEM-EDS测量，在创建高分辨率地形图像的同时，还可以识别感兴趣区域中的元素组成。这为广大科研人员提供了克服异位相关性挑战的巨大潜力，大大减少了时间和错误，同时以多种模式提供了高分辨率信息。

AFM/SEM二合一显微镜-FusionScope样品腔示意图。结合AFM-SEM-EDS与高达80°倾斜的耳轴。侧向视野提供了一个独特的角度来观察AFM尖端及其相互作用。

黄铜样品的SEM-AFM相关图像。SEM测量显示了表面在横向尺寸上的高分辨率视图，AFM绘制了表面的高度变化图。感兴趣区域的SEM图像，a)加速电压7.5kV，2000x2000像素；b)AFM-SEM关联图像，增加了AFM图像透明度；c)AFM图像透明度为0。

感兴趣区域的AFM测量，a)为动态模式下20 μm x 20 μm的形貌扫描，像素为1000x1000；b)同一次测量中的相位图。

SEM-EDS技术揭示了感兴趣区域的元素组成，a),b),c)分别为Cu、Zn和Fe的单独元素映射。图d)为该区域在15kV下的SE测量值；e)是添加了透明度的三种元素的叠加图，像素200x200，视场为50 μm；f)为AFM与EDS-Fe的叠加图。

样机体验：

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