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“微”祝福|无掩膜光刻落户深圳大学为您献上微加工的圣诞祝福

发布日期:2019-12-24

    由英国皇家科学院院士、剑桥大学卡文迪许实验室Russell Cowburn教授亲自设计并研发的小型台式无掩膜激光直写仪(MicroWriter ML3, Durham Magneto Optics, Ltd.)于近日在深圳大学成功安装并应用。该无掩膜光刻系统具有操作灵活、结构小巧(70 cm × 70 cm × 70 cm)、直写速度快、分辨率高(< 1 um)等特点。直写时无需掩膜版,可利用画图软件直接设计版图进行直写曝光。同时,MicroWriter售价及维护成本低,应用操作极具人性化,可为光机电、微流控和半导体等领域的实验室提供最佳的微加工解决方案。


    经过不断的升级和发展,MicroWriter目前在中国已有近50多家用户群体,包括清华大学、北京大学、中国科学院、南京大学、复旦大学、中国科技大学、华中科技大学等在内的顶尖高校研究所,研究领域涵盖材料、物理、化学、机械、光电子等各个领域。



图1. (左)安装在深圳大学的小型无掩膜激光直写系统(MicroWriter ML3 Baby);(右)由MicroWriter直写完成的“圣诞祝福”曝光结果



图2. 利用该小型激光直写系统(MicroWriter ML3 pro)制备的超精细线条(~ 0.6μm)阵列曝光结果(其中标尺大小为10μm)



 图3. 利用MicroWriter可以实现准3D的灰度曝光(0 – 255阶),左图为实现灰度曝光的设计版图,右图为实际的曝光结果(曝光图形实际尺寸为 500μm × 500μm)

 


相关参考:


1.英国皇家科学院院士、剑桥大学教授Russell Cowburn介绍:https://www.phy.cam.ac.uk/directory/cowburnr