3D纳米直写的又一作品 | nano-Dog突破纳米加工尺寸极限

发布日期：2019-12-09

    近期，瑞士SwissLitho公司利用3D纳米高速直写设备完成了 nano-Dog 贺卡的制作，尺寸仅有9.2μmx 5.5μm，Z轴精度1nm，突破了纳米加工尺寸的极限，是目前精度高的纳米贺卡。

    喜气洋洋的旺旺狗，体现了这款设备的纳米直写能力（高直写精度 (XY: 10nm, Z: 1nm)），同时高直写速度，无需显影，无临近效应，无电子/离子损伤等特点逐渐受到科研工作者的青睐。2017推出的小面积直写系统NanoFrazor Scholar更是只有30mmx30mm的样品台，桌面配置，方便了实验室科研人员的研究工作。

    普通的AFM针尖可无法满足上述直写流程的需求，为此IBM专门研发并设计了热扫描探针。该针尖具有两个电阻加热区域，针尖上方的加热区域可以加热到1000℃。 第二处加热区域作为热导率传感器位于侧臂处，其能感知针尖与样品距离的变化，精度高达0.1nm。

    在每行直写进程结束后的回扫结构时，并不是通过针尖起伏反馈形貌信息，而是通过热导率传感器感应形貌变化，从而实现了比AFM快1000余倍的扫描速度，同时保证了3D直写的高精度。

    瑞士SwissLitho公司同时将于3.28-3.29在苏黎世举办第五届热探针研讨会，届时希望就热扫描探针及其他探针技术问题，与各位学者展开深入的探讨与交流。活动受到了热扫描探针及相关研究领域人员和热切关注，如果您对探针技术感兴趣，请点击https://swisslitho.com/event/tpw18/ 了解详情。