视频回放|《无掩膜光刻技术在生物和医学领域的应用进展》
会议时间
2022年12月21日 14:00-14:30
会议地点
技术线上论坛
[报告简介]
无掩膜光刻技术因摆脱了掩膜板的束缚，可以高效快速地开发各类生物学和医学器，正逐渐成为各类研发机构主要的光刻设备。与传统掩膜版技术相比，无掩膜曝光技术具有高分辨、高对准精度、简易操作等诸多优势，能够轻松实现微米、亚微米级精度的光刻、套刻。配合各类标准微加工工艺，能够方便快捷地实现各类生物芯片器件的制备。在本报告中，将重点介绍无掩膜光刻技术前沿进展，结合来自国内外科研单位在国际期刊发表的研究成果，探讨无掩膜光刻技术在生物和医学领域的应用。
[视频回放]
