视频回放|《微纳加工精益求精——无掩模光刻技术和扫描热探针光刻技术》

会议时间

2020年04月22日 14:00-16:00

会议地点

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报告一：无掩模光刻技术新进展 - 全新亚微米分辨直写技术在微纳器件制备中的应用

在制备新型微电子、自旋电子学、传感器等器件时，通常会涉及到光刻工艺。而在诸多曝光技术当中，无掩模曝光技术因其独特的优势和特点，成为当前为流行高效的一种。与传统掩膜版技术相比，无掩模曝光技术具有高分辨、高对准精度、更加简易操作等诸多优势，能够轻松实现微米、亚微米级精度的光刻、套刻，配合各类标准微加工工艺，能够方便快捷地实现各类微结构的制备。在本报告中，将重点介绍无掩模光刻技术新前沿进展，结合来自国内外斯坦福，剑桥，复旦等科研单位的国际知名期刊研究成果，探讨无掩模光刻技术在微纳图形设计和器件制备中各种应用。

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报告二：纳米尺寸图案直写利器 - 基于扫描热探针光刻技术的新型二维材料纳米器件制备

纳米图案化和转移方法在纳米器件制备和性能研究中起到关键作用，传统的纳米器件制作方法通常由于存在电子的注入而导致器件损伤，无法实现真正高效无损的3D直写，严重的影响了器件真实性能的评估和后续科研工作的开展。新发展的扫描热探针纳米直写技术因其独特的热探针直写方式，在具备纳米级直写精度的同时，还具有无需显影操作、闭环刻写、高精度套刻、小尺度材料改性等技术优势，充分满足前沿微纳电子学、微纳流控、微纳机电等研究领域的纳米器件制备需求。在本报告中，我们将分享近年来一系列发表在《nature》，《science》等知名期刊上的新科研成果，从原理、应用及拓展等多个维度讨论基于扫描热探针光刻的纳米直写技术在科研领域的重要应用。

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