纳米精度六轴位移台-hexaCUBE
hexaCUBE位移台是德国attocube公司生产的能够提供六个维度高精度移动样品的集成位移系统。产品在保证优异位移精确度与稳定性的同时真正实现样品六个维度的自由移动,适用于大气,高真空到超高真空环境,行程可达15mm。最小步50nm,最小倾角变化1μrad。产品十分适合为需要多维度高精度定位的实验提供帮助。
产品在保证优异位移精确度与稳定性的同时真正实现样品六个维度的自由移动,适用于高真空到超高真空环境,行程15mm,最小倾角变化1μrad