QuadraProbe - 超高真空低温四探针SPM
真正的超高真空低温扫描隧道显微镜，该系统提供了多种分析功能、配备了多个超高真空室和相应的电子控制单元与软件，可以地满足客户全面的研究应用需要。
基本系统中提供了低温4探针扫描隧道显微镜（STM），扫描电子显微镜（SEM），样品准备室和用于传输样品和针尖的快速进样室。其他的设备如扫描俄歇显微镜（SAM）也可选配以满足客户特别的研究需要。
左图是RHK Tech.为美国橡树岭国家实验室安装的四探针UHV STM系统，配备有：高分辨率的UHV SEM，扫描俄歇分析器（用于XPS、UPS、ISS、Auger和SAM中）。多个空余端口，独立的准备室，剩余的空间可以与其他的沉积设备结合。
