EMPX-H2低温磁场探针台

EMPX-H2低温磁场探针台


Lake Shore的EMPX-H2探针台增加了一个±0.6 T水平方向磁场的电磁铁,所有标准的C-V、I-V、微波和电光探测,加上面内水平场电磁测量,都可以在EMPX-H2探针台上进行。研究人员可以使用EMPX-H2来测试磁输运参数,ST-FMR测试等。它是Lake Shore探针台中用于矢量相关磁输运测量的低温探针台。

 

为了最大限度地提高样品磁场,EMPX-H2的探针配置为30°倾角,用于探测直径达25mm(1英寸)的晶圆片。360°旋转样品台选项允许测量角度相关和各向异性的磁输运特性。EMPX-H2在4.5 K至400 K的温度范围内运行,配置低温选件可将基本温度扩展至3.2 K。EMPX-H2采用连续流制冷,可使用液氦或液氮进行冷却。


设备优势


√  温度范围4.5 K~400 K

√  可选低温3.2 K

√  水平磁场±0.6 T

√  最大1英寸(25.4 mm)样品

√  无需系统降温即可施加磁场

√  样品360°旋转磁各向异性测试

 


主要参数及描述

 

磁场


磁体类型

电磁铁

磁场方向

水平方向(平行于样品面)

磁场控制

霍尔探头安装在探针台内用于磁场闭环控制

磁场大小

最大±6 kOe (±0.6 T)

磁场均匀性

0.6% 10 mm直径;2.6% 25 mm直径

探针针尖移动

<5 μm 整个磁场范围内

温度范围


最多安装4个探针臂

基础温度4.5 K,控制温度范围5 K~400 K

安装PS-LT低温选件

基础温度3.2 K,控制温度范围3.3 K~400 K

温度稳定性

液氦

液氮

基础温度 (无加热控制)

±20 mK

±50 mK

<10 K

±50 mK

10 K ~ 100 K

±50 mK

±100 mK

101 K ~ 250 K

±50 mK

±100 mK

251 K ~ 400 K

±50 mK

±100 mK

真空

以TPS-FRG分子泵为标准

抽真空时间

30 min (<1 × 10-3 Torr)

室温

<5 × 10-4 Torr

基础温度

<1 × 10-5 Torr

最高温度

<5 × 10-3 Torr

循环时间


总循环

3 h

抽真空

0.5 h

探针台冷却

1.25 h

探针台升温

1.25 h

样品


最大尺寸

51 mm(2英寸)

样品背光接口

不可选

样品旋转

360°样品旋转选件(PS-360-EMPX)

样品振动

<300 nm 标准

探针配置


最大探针数

4

探针臂温度计

用于监视探针臂的温度

冷却探针支架

<20 K(样品在基础温度下)

探针支架

连接样品台热沉

探针臂支架

连接防辐射屏热沉

DC/RF探针

电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量

微波探针

频率范围从DC到67GHz

光纤探针

可用于电光测量

落针范围

所有探针均可在直径为 25.4 毫米(1 英寸)的圆内落针