■  石墨烯中量子点的制造

石墨烯以其优异的电子性能在各种应用领域表现出了巨大潜力，引起了人们个广泛兴趣。该工作中作者制备的量子点器件完全由石墨烯软刻蚀技术雕刻而成。在大尺寸(>100纳米)时，它们的行为和传统的单电子晶体管一样。对于小于100纳米的更小量子点，表现出了明显的量子约束效应。

石墨烯的“场效应管”与电子特性。采用Moorfield软刻蚀技术

参考文献：L. A. Ponomarenko, et al. Science, 2008, 320(5874), 356-358

■  石墨烯分子传感器

该工作中作者利用软刻蚀技术将石墨烯制备成了微型传感器，此传感器对于表面吸附分子的灵敏度非常高，具有很好的应用前景。

石墨烯微型气体分子探测器

参考文献：Schedin, et al. Nat. Mater. 2007, 6(9), 652-655

nanoETCH微纳加工制备的石墨烯微型传感器

U. Sassi, et al. Nat. Commun. 2017,8,14311

Detection of individual gas molecules adsorbed on graphene

Schedin, F., et al. Nature Materials 2007 DOI: 10.1038/nmat1967

作者报到了由石墨烯制成的微米大小的传感器能够检测到单个气体分子附着在传感器表面的情况。Moorfield nanoETCH软刻蚀技术用于清洗放置石墨烯的衬底，并用于将石墨烯蚀刻到所需的(霍尔棒)器件结构。

相关设备：Moorfield nanoETCH

Chaotic dirac billiard in graphene quantum dots

Ponomarenko, L. A., et al. Science 2008 DOI: 10.1126/science.1154663

作者利用石墨烯雕刻出各种大小的量子点。大型量子点(>100nm)表现为传统的单电子晶体管。另一方面，对于较小的量子点，量子限制效应显示出了作用。Moorfield“软蚀刻”技术用于制备石墨烯的石墨基材的处理，以及将石墨烯蚀刻成量子点结构。

相关设备: Soft-Etching systems

Vertical field-effect transistor based on graphene–WS2 heterostructures for flexible and transparent electronics

Georgiou, T., et al. Nature Nanotechnology 2012 DOI: 10.1038/nnano.2012.224

垂直场效应晶体管是由二维材料石墨烯和二硫化钨重叠而成。这种器件中独特的传输机制允许的电流调制和高电流密度。Moorfield软蚀刻技术用于处理衬底表面，对器件的制备进行刻蚀。

相关设备: Soft-Etching systems

Graphene-based mid-infrared room-temperature pyroelectric bolometers with ultrahigh temperature coefficient of resistance

Sassi, U., et al. Nature Communications 2017 DOI: 10.1038/ncomms14311

作者报告了石墨烯作为非冷却式中红外光电探测器的一部分的使用，其中LiNbO3晶体的热释电响应以高增益(高达200)转换为石墨烯的电阻率调制。nanoETCH系统是这项工作的关键部分，它既可用于将石墨烯蚀刻成所需的图案，也可用于修改单片石墨烯以提供超低接触电阻。

相关设备: nanoETCH

台式超精准二维材料等离子软刻蚀系统—nanoETCH.pdf

Moorfield系列产品介绍