最多安装6个探针臂

基础温度4.5 K，控制范围5 K ~ 475 K

安装PS-LT低温选件

基础温度3.5 K，控制范围4 K ~ 475 K

温度稳定性

液氦

液氮

基础温度 (无加热控制)

±20 mK

±20 mK

<10 K

±50 mK

—

10 K ~ 100 K

±20 mK

±50 mK

101 K ~ 250 K

±20 mK

±50 mK

251 K ~ 350 K

±20 mK

±100 mK

351 K ~ 675 K

±50 mK

±100 mK

真空

以TPS-FRG分子泵组为标准

抽真空时间

30 min (<1 × 10^-3 Torr)

室温下

<5 × 10^-4 Torr

基础温度下

<1 × 10^-5 Torr

最高温度下

<5 × 10^-3 Torr

循环时间

总循环

3.5 h

抽真空

0.5 h

探针台冷却

1.5 h

探针台升温

1.5 h

样品

最大尺寸

102 mm(4英寸)标准

样品背光接口

不可选

样品旋转

±5°面内旋转

样品平移

在x轴和y轴上平移，用于整个102 mm的晶圆片探测

样品振动

＜30 nm标准

探针配置

最大探针数

6

探针臂温度计

用于监视探针臂的温度

冷却探针支架

＜30 K(样品在基础温度下)

探针支架

连接样品台热沉

探针臂支架

连接防辐射屏热沉

DC/RF探针

电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量

微波探针

频率范围从DC到67GHz

光纤探针

可用于电光测量

落针范围

所有探针均可在直径为51毫米（2 英寸）的圆内落针