FWPX四英寸低温探针台

FWPX四英寸低温探针台

Lake Shore 的FWPX探针台专为需要大尺寸晶圆探测的研究人员设计,它可以容纳直径高达102 mm(4英寸)的晶圆片,并可定制容纳更大尺寸至152 mm(6英寸)的晶圆。这款通用的探针台主要是为研究者和工程师们做大样品的材料特性表征而设计,同样可以有效的测量有机材料。

 

FWPX探针台采用了连续流制冷系统,使用液氦或液氮来冷却晶圆片或样品。它的标准工作范围为4.5K~475K,使用低温选件可将基础低温扩展至3.5K。

FWPX探针台可进行I-V,C-V 和微波等标准测量。

FWPX探针台最多同时安装6个带有热沉的微型操纵探针臂,经过优化设计后可用于电光测试。


主要特征

 

√  温度范围4.5 K~475 K

√  可选低温3.5 K

√  样品快速测量

√  标准4英寸(102 mm)样品,6英寸(152 mm)可定制

√  样品可面内±5°旋转

√  样品振动<30 nm

主要参数及描述


温度范围


最多安装6个探针臂

基础温度4.5 K,控制范围5 K ~ 475 K

安装PS-LT低温选件

基础温度3.5 K,控制范围4 K ~ 475 K

温度稳定性

液氦

液氮

基础温度 (无加热控制)

±20 mK

±20 mK

<10 K

±50 mK

10 K ~ 100 K

±20 mK

±50 mK

101 K ~ 250 K

±20 mK

±50 mK

251 K ~ 350 K

±20 mK

±100 mK

351 K ~ 675 K

±50 mK

±100 mK

真空

以TPS-FRG分子泵组为标准

抽真空时间

30 min (<1 × 10-3 Torr)

室温下

<5 × 10-4 Torr

基础温度

<1 × 10-5 Torr

最高温度

<5 × 10-3 Torr

循环时间


总循环

3.5 h

抽真空

0.5 h

探针台冷却

1.5 h

探针台升温

1.5 h

样品


最大尺寸

102 mm(4英寸)标准

样品背光接口

不可选

样品旋转

±5°面内旋转

样品平移

在x轴和y轴上平移,用于整个102 mm的晶圆片探测

样品振动

<30 nm标准

探针配置


最大探针数

6

探针臂温度计

用于监视探针臂的温度

冷却探针支架

<30 K(样品在基础温度下)

探针支架

连接样品台热沉

探针臂支架

连接防辐射屏热沉

DC/RF探针

电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量

微波探针

频率范围从DC到67GHz

光纤探针

可用于电光测量

落针范围

所有探针均可在直径为51毫米(2 英寸)的圆内落针

 

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