FWPX四英寸低温探针台
Lake Shore 的FWPX探针台专为需要大尺寸晶圆探测的研究人员设计,它可以容纳直径高达102 mm(4英寸)的晶圆片,并可定制容纳更大尺寸至152 mm(6英寸)的晶圆。这款通用的探针台主要是为研究者和工程师们做大样品的材料特性表征而设计,同样可以有效的测量有机材料。
FWPX探针台采用了连续流制冷系统,使用液氦或液氮来冷却晶圆片或样品。它的标准工作范围为4.5K~475K,使用低温选件可将基础低温扩展至3.5K。
FWPX探针台可进行I-V,C-V 和微波等标准测量。
FWPX探针台最多同时安装6个带有热沉的微型操纵探针臂,经过优化设计后可用于电光测试。