无液氦超导磁体探针台 | 定制液氦/液氮冷却探针台 |
√ 3T或5T垂直磁场 √ 2 K至420 K（最大磁场降低至室温以上） √ 用于零场测量的可选6.5英寸直径样品座 √ 样品阶段的振动小于1µm
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√ 最多8个样品 √ 高达3 kV电压测试 √ ~3.5 K至475 K（675 K可选） √ 样品台处25 nm振动
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室温真空探针台 | 微型可运送样品真空腔室 |
√ 300 K至500 K（675 K可选） √ 直径2英寸的样品座，带标准探针臂和视觉选件 | Lake Shore还提供了一个微型、可运送样品的真空室，能够在通过大气环境运输的过程中保持样品处于真空状态。真空室可用于在真空下将晶圆片/衬底从具有特殊环境的手套箱转移到真空或低温微操作探针台（或转移到真空室），并在测试、测量或准备后返回手套箱。这种可运输的真空室在装载和卸载时保护晶片/基板免受大气污染。
与普通的真空Load Lock不同，该真空室具有以下特点和优点： √ 典型尺寸为直径50 mm、厚度25 mm寸 √ 无需闸板阀 √ 操作非常方便 √ 低成本 √ 在不增加低温探针台基础温度的情况下安装可运送样品支架
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