CPX-VF低温超导磁体探针台

CPX-VF低温超导磁体探针台

Lake Shore的CPX-VF探针台增加了±2.5T的超导磁体,可以进行C-V、I-V、微波和电光探测,以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CPX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CPX-VF 是Lake Shore探针台中结合微波和磁场测量的优秀探针台之一。

CPX-VF直径达51mm(2英寸)的晶圆上实现真正的90°晶圆探测。样品可在冷却过程中保持较高温度,降低了样品冷凝的可能性,这是测量有机材料的关键要求。

CPX-VF使用液氦或液氮进行连续流制冷(使用超导磁体时必须使用液氦),其操作温度范围为4.2 K到400 K,使用低温选件可将基础低温扩展到2 K。

主要特征


√  温度范围4.3 K~400 K

√  可选低温1.9 K

√  垂直磁场±2.5 T

√  最大2英寸(51 mm)样品

√  样品可面内±5°旋转

√  样品振动<30 nm可选

√  90°探针样品测量

√  霍尔效应测试选件

√  超高真空选件

√  可定制真空腔联用转移样品,避免样品暴露在大气环境


主要参数及描述

 

磁场


磁体类型

超导螺线管

磁场方向

垂直方向(垂直于样品面)

磁场控制

电流控制

磁场大小

最大±25 KOe(±2.5 T)

磁场均匀性

0.5% 10 mm直径;1% 25 mm直径

探针针尖移动

<5μm 整个磁场范围内

温度范围


最多配置6个探针臂

基础温度4.3 K,温度控制范围4.4 K ~ 400 K

安装PS-LT低温选件

基础温度1.9 K,温度控制范围2 K ~ 400 K

温度稳定性

液氦

基础温度 (无加热控制)

±15 mK

<10 K

±50 mK

10 K ~ 100 K

±20 mK

101 K ~ 250 K

±15 mK

251 K ~ 350 K

±15 mK

351 K ~ 400 K

±50 mK

真空

以TPS-FRG分子泵为标准

PS-HV-CPX选件

抽真空时间

30 min (<1 × 10-3 Torr)

10 min (<1 × 10-3 Torr)

室温

<5 × 10-4 Torr

<5 × 10-6 Torr

基础温度

<1 × 10-5 Torr

<5 × 10-7 Torr

最高温度

<5 × 10-5 Torr

<5 × 10-7 Torr

循环时间


总循环

4 h

抽真空

0.5 h

探针台冷却

2 h

探针台升温

1.5 h

样品


最大尺寸

51 mm(2英寸)

样品背光接口

不可选

样品旋转

±5°样品面内旋转

样品振动

<300 nm(标准),<30 nm(配置减震选件PS-PVIS)

探针配置


最大探针数

6

探针臂温度计

用于监视探针臂的温度

冷却探针支架

<20 K(样品在基础温度下)

探针支架

连接磁体防辐射屏热沉

探针臂支架

连接防辐射屏热沉

DC/RF探针

电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量

微波探针

频率范围从DC到67GHz

光纤探针

可用于电光测量

落针范围

所有探针均可在直径为 25.4 毫米(1 英寸)的圆内落针