纳米精度六轴位移台-hexaCUBE

纳米精度六轴位移台-hexaCUBE




hexaCUBE位移台是德国attocube公司生产的能够提供六个维度高精度移动样品的集成位移系统。产品在保证优异位移精确度与稳定性的同时真正实现样品六个维度的自由移动,适用于大气,高真空到超高真空环境,行程可达15mm。最小步50nm,最小倾角变化1μrad。产品十分适合为需要多维度高精度定位的实验提供帮助。


产品在保证优异位移精确度与稳定性的同时真正实现样品六个维度的自由移动,适用于大气,行程15mm,最小倾角变化1μrad,专门针对多维度高精度定位的实验需求设计

设备特点


+  六维度自由移动

+  厘米级行程,纳米级精度的位置控制

+  闭环位移器,极高机械稳定性

+  50 nm 线性移动精度,1 μrad 倾角精度

+  特殊材质,兼容各种光学环境与超高真空环境

+  软件全自动操控


高稳定性


行程1mm范围,高度可重复性

行程1mm范围,误差小于50nm

小范围内,误差小于10nm


标准配件


          AMC100位移控制器

          同时控制六个方向位移;

          完美结合attocube专门开发的

          hexaCUBE控制软件;

          兼容Labview; 


基本参数


产品型号

hexaCUBE190

适用环境

1atm/HV/UHV

位移器尺寸

190×180×105 mm3

最大负载

700 g

中心孔距

26 mm

行程

线性x方向 ±15 mm 

线性y方向 ±15 mm 

线性z方向 ±20 mm

倾角x方向  +33/-19°

倾角y方向 ±21° 

倾角z方向 ±19°

精度

线性x,y,z方向 50nm

倾角x,y,z方向 1μrad 

材质

铝,不锈钢,塑料





应用软件

         

                  >  界面直观

                  >  六维度点对点控制

                  >  布局合理

                  >  精确控制    



Quantum Design International

访问Quantum Design总部