最多安装6个探针臂

基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K

安装PS-LT低温选件

基础温度1.9 K，控制范围2 K ~ 475 K

安装PS-VLT-CPX极低温选件

基础温度1.6 K，控制范围1.65 K ~ 400 K

安装PS-LL-CPX选件（Load Lock）

基础温度10 K，控制范围10 K ~ 400 K

温度稳定性

液氦

液氮

基础温度 (无加热控制)

±15 mK

±20 mK

<10 K

±50 mK

—

10 K ~ 100 K

±20 mK

±50 mK

101 K ~ 250 K

±15 mK

±50 mK

251 K ~ 350 K

±15 mK

±100 mK

351 K ~ 675 K

±50 mK

±100 mK

真空

以TPS-FRG分子泵组为标准

PS-HV-CPX高真空选件

抽真空时间

30 min (<1 × 10^-3 Torr)

10 min (<1 × 10^-3 Torr)

室温

<5 × 10^-4 Torr

<5 × 10^-6 Torr

基础温度

<1 × 10^-5 Torr

<5 × 10^-7 Torr

最高温度

<1 × 10^-5 Torr

<5 × 10^-7 Torr

循环时间

总循环

3 h

抽真空

0.5 h

探针台冷却

1.25 h

探针台升温

2 h

Load Lock样品更换时间

1小时（配有PS-LL-CPX选件）

样品

最大尺寸

51 mm（2英寸）标准

25.4 mm（1英寸）安装PS-VLT-CPX高真空选件

25.4 mm（1英寸）安装PS-LL-CPX  Load Lock选件

样品背光接口

不可选

样品旋转

±5°面内旋转

样品振动

＜300 nm标准，＜30 nm配有PS-PVIS减震选件

探针配置

最大探针数

6

探针臂温度计

用于监视探针臂的温度

冷却探针支架

＜20 K(样品在基础温度下)

探针支架

连接样品台或4K防辐射屏热沉

探针臂支架

连接防辐射屏热沉

DC/RF探针

电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量

微波探针

频率范围从DC到67GHz

光纤探针

可用于电光测量

落针范围

所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针