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Arradiance 原子层沉积(ALD)应用案例2: 微格结构
Microlattices as architected thin films: Analysis of mechanical properties and high strain elastic recovery
Kevin J. Maloney,1,a Christopher S. Roper,1 Alan J. Jacobsen,1
William B. Carter,1 Lorenzo Valdevit,2 and Tobias A. Schaedler1,b
1HRL Laboratories LLC, Malibu, California 90265, USA
2Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, Irvine,
California 92697, USA
摘要:
通过高分子网状模板沉积不同薄膜材料(Au, Cu, Ni, SiO2, poly(C8H4F4))获得周期有序微格结构,其密度在0.5 mg/cm3 to 500 mg/cm3之间。以压力法测得杨氏模量和强度,并且进行了密度定标。在低相对密度的情况下,观察到与微格材料无关的50%或更高的压力应变恢复。一个分析模型精确的预测了在可恢复性“伪超弹性与不可恢复塑性形变之间的转换关系,并适合所有研究材料。此次研究的材料在储能应用,可展开结构,,冲击,振动阻尼研究方面有着很高的关注度。
 
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