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attoFPS应用案例4:校正极低温非线性扫描

FPS激光干涉仪校正极低温非线性扫描 

通常扫描台在室温下扫描50微米 x 50微米的范围时候不会有显著的非线性效应。但是当在极低温环境(4K或更低)中,压电陶瓷本身的性能发生变化,会产生下图右中的非线性扫描现象。

通过德国attocube公司的FPS激光干涉仪,可以在极低温环境下使用激光探头对扫描台的扫描运动进行实时检测(高速扫描)。结合对扫描台的施加电压进行实时反馈控制,可解决低温下非线性扫描问题。

  
 
     
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