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attoFPS应用案例1:FPS激光干涉仪检测纳米精度位移台
FPS激光干涉仪检测纳米精度位移台
 

误差在实际生产中的存在可能导致损失以及客户对产品信心的丢失。光学传感器可以在质量检测中帮助减少误差产生提高成品率。FPS激光干涉仪是理想的可在各个领域提供高精度探测来减少误差的一种光学传感器。

作为纳米精度位移台供应商的德国attocube公司,对位移台的精密移动的测量与鉴定是一个非常重要的任务。例如,下图左,ECS3030型号的线性位移台可在真空中进行位移。ECS3030位移台的行程是20mm。技术参数要求的是可重复精度小于50nm。利用FPS3010激光干涉仪对位移台上样品进行测量,位移台被程序控制来回往复移动1mm,20mm的行程内在多个不同地点进行来回往复移动。测量结果如下图中所示。通过分析,左图中的数据提取的偏差值是13.2nm,下图右数据的直方图显示标准差是13nm。因此,位移台的可重复性技术指标是合格的。

通过使用FPS3010激光干涉仪可以实施对于纳米精度位移台ECS3030的全自动测量。这已经是德国 公司对于位移台的质量检测手段。这样一个简便与实用的传感器可以直接集成到生产线中去提供高产出的质量检测。

   
 
 
 
     
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