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全新压电阻自感应悬臂梁AFM探针      
 
                   ——从此形貌探测无需激光
 
 
    SCL-Sensor.Tech公司成立于2004年,公司的主要业务是制造和销售硅基压电阻式自感应AFM探针。这种全压电式悬臂,在AFM、纳米级、力测量等传感应用领域都有全新的应用。我们的多学科团队由物理、商业和金融、半导体和微电子学、电子工程和生物科学等领域的专家组成。除了我们自己的团队之外,我们还与著名高校:University of Tampere (UTA),École Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) 许多领先的研究团队合作,同时与著名仪器生产商GETec公司(扫描电镜专用原位AFM探测系统-AFSEM:http://www.qd-china.com/products2.aspx?id=452合作,密切接触前沿研究和开发。
    自感应悬臂探针安装了一个全压电电阻式的惠特斯通电桥,两个可变电阻在悬臂上,两个在晶片上可以直接测量悬臂的信号,从而避免了光学技术对空间要求。这种悬臂式芯片被连接在一个小的PCB上,带有一个小的连接器,用于快速和高度可重复的悬臂交换。传感器信号是通过一个小型的前置放大器PCB来读出和放大的。这使得与各种仪器,如SEM,TEM和许多其他测量系统的简单无缝集成。这种自感的悬臂可以满足各种共振频率和弹性系数的要求。
    SCL提供了PRS(Piezo-Resistive Sensing)不可加热的悬臂AFM探针和PRSA(Piezo-Resistive Sensing & Active)可加热的悬臂AFM探针。我们建议用塑料镊子更换 裸悬臂AFM探针,用钢镊子来更换固定在PCB板上的悬臂AFM探针。详情请参见 悬臂AFM探针处理指南PDF 
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常规自感应悬臂梁探针(针尖材质Si)
Self-Sensing Cantilevers with Silicon Tip 

    左图展示的是标准的SCL自感应悬臂探针的尖端,尖端半径小于15纳米。正常情况下,悬臂探针会预先安装特制的PCB板(CL-PCB)上,在它的下侧有一个10pin的连接器。如果有特殊要求,我们也可以提供没有PCB板的悬臂探针。探针有两种版本,可加热的探针PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active) 和不可加热的探针PRS (Piezo-Resistive Sensing) 
型号列表: 
   我们可以提供两中特定频率范围内使用的探针(中频为50 kHz或80 kHz),频率取决于悬臂的厚度。当选择没有PCB板的裸探针时(PRSA-L300-CHP)时,使用的频率范围是未知的,因为这些参数不能在没有电触点的情况下测量。  详情请参见:技术资料                       


共同特点Common 


针尖锐度Silicon tip radius (rtip)

< 15 nm

长宽Cantilever length, width (l/w)

l = 305 µm, w = 110 µm

灵敏度Sensitivity (s)

1-2 µV/nm

应用Applications

AFM, 纳米探测, 结合 SEM/TEM的力学探测.

PRSA-L300-F50-Si-PCB


共振频率Resonant frequency (fR)

fR = 30~65 kHz

刚度Stiffness (k)

k = 1~15 N/m

PRSA-L300-F80-Si-PCB


共振频率Resonant frequency (fR)

65...95 kHz

刚度Stiffness (k)

15...56 N/m

 
PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP 技术资料
 

PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP


针尖锐度Silicon tip radius (rtip)

< 15 nm

长宽Cantilever length, width (l/w)

l = 70...85 µm, w = 30 µm

灵敏度Sensitivity (s)

3 µV/nm

应用Applications

AFM, 纳米探测, 结合 SEM/TEM的力学探测.

共振频率Resonant frequency (fR)

500...1300 kHz

刚度Stiffness (k)

35...400 N/m

 
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自感应悬臂梁(不含针)Self-Sensing Cantilever without Tip (Tipless)

   这是一种特殊类型的SCL的自感应悬臂,没有探针针尖,可将自己设计制造的针尖粘在其上或者直接粘上样品,满足个性化的需求。这种无探针的悬臂尤其适用于扭矩磁力仪、力感测力、气体特性测量,以及更多的应用。正常情况下,悬臂探针会预先安装特制的PCB板(CL-PCB)上,在它的下侧有一个10pin的连接器。如果有特殊要求,我们也可以提供没有PCB板的悬臂探针。探针有两种版本,可加热的探针PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active) 和不可加热的探针PRS (Piezo-Resistive Sensing) 
型号列表:  
PRSA-L300-F50/60/80-TL-PCB/CHP
    我们可以提供两中特定频率范围内使用的探针(中频为50 kHz80 kHz),频率取决于悬臂的厚度。当选择没有PCB板的裸探针时(PRSA-L300-CHP)时,使用的频率范围是未知的,因为这些参数无法在没有电触点的情况下测量。 技术资料
 

共同特点Common


长宽Cantilever length, width (l/w)

l = 300 µm, w = 110 µm

灵敏度Sensitivity (s)

1...2 µV/nm

应用Applications

扭矩磁力仪,力感应,气体特性,特殊针尖的安装

PRSA-L300-F50-TL-PCB


共振频率Resonant frequency (fR)

fR = 30...65 kHz

刚度Stiffness (k)

k = 1...15 N/m

PRSA-L300-F80-TL-PCB


共振频率Resonant frequency (fR)

65...95 kHz

刚度Stiffness (k)

15...56 N/m

 
PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP 技术资料
 

PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP


长宽Cantilever length, width (l/w)

l = 100 µm, w = 48 µm

灵敏度Sensitivity (s)

1...3 µV/nm

应用Applications

扭矩磁力仪,力感应,气体特性,特殊针尖的安装

共振频率Resonant frequency (fR)

fR = 250...550 kHz

刚度Stiffness (k)

k = 14...170 N/m

 
PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP 技术资料
 

PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP


长宽Cantilever length, width (l/w)

l = 450 µm, w = 100 µm

灵敏度Sensitivity (s)

1...2 µV/nm

应用Applications

扭矩磁力仪,力感应,气体特性,特殊针尖的安装

共振频率Resonant frequency (fR)

14...48 kHz

刚度Stiffness (k)

0.5...24 N/m

 
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自感应基础套件(DYI必备)
Self-Sensing Starter-Kit 技术资料
    自感悬臂探针的每个应用中没有激光扰度探测,无法直接用于普通AFM设备里,需要我们提供的自感应基础套件。该基础套件为您提供了所有基本但必要的配置,可以立即开始使用自感应悬臂(探针)。自感应基础套件包含以下内容:
  • 低噪声悬臂信号前置放大器(下图。2)  
  • 连接前置放大器到悬臂和后加工设备(锁定放大器,AFM控制器等)的电缆。(1 + 3)
  • 10个自我感觉的悬臂(4)
 
 
相关链接:与此自感应探针配套——扫描电镜专用原位AFM探测系统 
 
 
 
 
 
 
 
   
     
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