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扫描电镜专用原位AFM探测系统      
 

扫描电镜专用原位AFM探测系统

 

AFSEM™ —使AFMSEM合二为一

 

    奥地利GETec公司发布的AFSEM是一款紧凑型,适用于真空环境的AFM产品,能够轻松地结合两种最强大的分析技术—AFMSEM为一体,极大地扩展SEM样品成像和分析能力。AFSEM技术与SEM技术的完美结合,使得人们对微观世界和纳米世界新探索新发现成为可能。

 

SEM结合AFM完美解决方案:

* 扫描电子显微镜中进行AFM原位分析

* 使用SCL的自感悬臂技术的纳米探针

* 无需激光和探测器,适用于任何样品表面

* 与大多数SEM兼容而不妨碍正常的操作

* AFMSEM协同并行分析

 

扫描电子显微镜中进行原位AFM分析

 
     AFSEM技术实现了AFMSEM的功能性互补,让SEM可以同时实现样品的高分辨率成像,真实的三维形貌,精确的高度,距离测量,甚至是材料的导电性能。做到这一点只需要将AFSEM悬臂探针(http://www.qd-china.com/products2.aspx?id=467的位置移动到SEM下需要观察的样品位置进行探测。优化的AFSEM工作流程(几乎没有减少SEM的扫描时间)确保了最高的效率。提供的强大控制软件则允许进行优化和直观的测量、系统处理和数据分析。
 

AFSEM集成到一个Zeiss Leo 982扫描电子显微镜中(),对样品表面进行扫描成像(),对样品表面进行扫描。当在AFMSEM成像之间交替时,不需要转移样品或打破真空。使用AFSEM,一切都可以进行内联!

 

SEM-AFM 协同分析

 

    对于产品或材料分析,通常需要用多种技术分析一个样品或者同一个器件,并寻找参数之间的相关性。如果样品需要使用SEMAFM这两种的成像技术,就意味着我们需要找到感兴趣的区域并定位它,再拿到另一个设备中寻找这个感兴趣的区域,才能实现对同样的区域进行分析。有什么能比直接把AFM放在SEM里面来的简单呢?

 
 

对无支撑石墨烯和石墨烯相关材料进行扫描电镜和AFM原位分析。在低电压扫描电子显微镜下,我们可以对一个悬空的石墨烯薄片的样品进行成像,以确定层数和厚度(a)。然后,利用AFM(b+c)实现更高的分辨率和更好的对比度。

 
 

扫描电镜图像(A)、放大的图像(B)和相关的AFM成像(C),测量结果来自FEI Quanta 600 FEG ESEM

 
 

AFSEM可与大多数SEM兼容 

 

      AFSEM适用于大多数SEM或双光束(SEM/FIB)系统。可以直接安装在系统腔室的仓门上,同时样品台保持不变。此外,AFSEM采用一种自感应悬臂探针,无需激光与传感器。 AFSEM在电镜中,夹持探针的悬臂梁只需要极靴与样品之间4.5毫米的空间。因此,AFSEM可以与各种标准的SEM兼容,GETec公司能够处理任何兼容SEM系统真空腔内的安装。也正是这种优雅小巧的设计使得扫描电子显微镜能够配合AFM技术实现的亚纳米级的形貌探测。  

 

成功的AFSEM集成的例子(可参见集成SEM列表)

 

AFSEMSEM分析技术紧密配合

 

   由于AFSEM小巧的设计维护了SEM功能的完整性,可以实现与其他标准的扫描电镜分析技术相结合同时使用,如常规FIBFEBIDEDX,以及SEM中可搭配的拉伸机,应力测试,机械手等等

 
 
AFSEM应用案例举例:
 

AFSEMDeben 200N 拉伸试验台可以同时集成在Philips XL40 SEM实现试样拉伸形变过程的原位观察和形貌探测。这是一个创新的实验解决方案,用来研究拉力作用下金属试样的拉伸形变和颈缩过程中,样品表面形貌和粗糙度的变化。  

 

此外AFSEM™和Hysitron PI85 硬度测试台结合,一同安装在蔡司Leo 982 SEM中,电镜下我们可以实时观察金属表面在硬度计压头尖端的压力下,表面形变,滑移过程。其形变,滑移的形貌变化可以由AFM完成。 
 
AFM的角度来看,自感应悬臂探针可以实现多种探测模式,包括 静态成像、动态成像、相对比、力谱、力调制和导电模式AFM。例如,在飞利浦XL40仪器中,利用扫描电镜成像、EDX的化学分析、AFM3D形貌和电导分析。 
 
 
AFSEM技术视频链接(点击查看):

□  产品技术介绍
□  AFSEM安装和成像
□  探针更换
 AFSEM相关资料下载(点击下载):
  
□  产品手册
 
 AFSEM采用的自感应探针(self-sensing cantilevers):
 
   奥地利SCL-Sensor.Tech公司主要生产硅基压阻式自感应探针,避免了常规AFM需要光路进行探测的模式,极大拓宽AFM在纳米探测、力测量和其他场合的应用。
   自检测悬臂配备全压阻电桥直接测量悬臂信号电,从而消除常规原子力显微镜光学信号探测对仪器空间的要求。两个可变电阻分别位于微悬臂和芯片上。整个结构连接到一个小的PCB板上,可实现快速和高重复性的探针交换。感应到的信号通过一个前置放大电路读出和放大。这使得与各种仪器,如SEM,TEM和许多其他测量系统,可以轻松无缝地集成。自感应探针具有各种谐振频率和弹簧常数。
   详情请查看相关网页。
 
Self-Sensing Cantilevers with Silicon Tip
Self-Sensing Cantilever without Tip  (Tipless)
Self-Sensing Cantilevers with SCD Tip
Silicon tip radius: <15nm
Cantilever length: 70-300 µm
Frequencies: 30-1300 kHz
Stiffness: 1-400 N/m
Applications: AFM,nanoprobing,force measurement, ...
Tip: tipless
Cantilever length : 100-450 µm
Frequency: 14-550 kHz
Stiffness: 0.5-170 N/m
Applications: torque magnetometry (e.g. in a PPMS), gas/media properties, force measurement, experimental tip mounting,...
SCD-tip radius: <10 nm
Cantilever length: 100-450 µm
Frequency: 14-550 kHz
Stiffness: 0.5-170 N/m
Applications: AFM, nanoindentation, ...
 
AFSEM 使用的探针,详情请浏览 http://www.qd-china.com/products2.aspx?id=467 
 
   
     
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