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皮米精度激光干涉仪IDS3010      
 
 
 
 
皮米精度激光干涉仪 IDS 3010
 
    德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上,最新推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激光干涉仪。与FPS型号干涉仪相似,IDS型号同样适用于极端环境如高真空与高辐射环境并且具有极高精度与极高采样速率。IDS产品是适合工业集成与工业网络无缝连接的理想产品。产品在工业应用中具有广泛范围前景,包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量等。
    德国国家计量院( PTB)对IDS3010激光干涉仪的精度进行了认证(下图)。值得指出,在0-3米的工作距离内, IDS激光干涉仪的的测量数据与德国计量院激光干涉仪数据完全一致。德国计量院的认证使得IDS激光干涉仪的测量数据满足德国国家标准,使得IDS更加理想的成为位移台鉴定与机器加工等领域的测量工具。

 
 皮米精度激光干涉仪 IDS 3010
德国计量院PTB认证


 
产品特点:
 
+  设计紧凑(50mm x 55mm x 195mm),适合工业集成
+  工业化界面,含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面
+  测量速度快,定位样品采样带宽10MHz
+  环境补偿单元,不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度
+  校正简单,配备可见激光(650nm)用于校正测量激光(1530nm)
+  测量精度高,探测器分辨率高达1 pm
 
 
 
应用方向:
 
    IDS 3010充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要,可应用于长度测量、同步辐射、精密仪器、半导体工业以及显微镜
 
部分应用案例(点击查看):
 
 
 

 
视频:皮米精度位移测量激光干涉仪IDS3010介绍
 
 
 
 
视频:皮米精度位移测量激光干涉仪IDS3010工作原理 
 
 
 

光纤式激光探头

IDS系列激光干涉仪可提供不同型号探头(探头尺寸,光斑大小不同)。

探头直径范围:1.2mm – 22mm。典型准直激光光斑:1.6mm, 典型聚焦激光光斑:70 mm。

最低工作温度:10mK, 1E-10mBar超高真空适用, 10MGy强辐射环境适用。

激光探头技术参数表(点击具体型号下载PDF详细参数):
 
激光探头型号
尺寸mm
(直径与长)
工作距离
(低反射,高反射材料)
激光类型
(聚焦、准直)
 光斑大小

D1.2/F7

 

Ø 1.2;

7.5

5-9 mm

30-45 mm

聚焦,

焦距7mm

70um@7mm

 

D4/F8

 

Ø 4;

11.5

6-10 mm

15-30 mm

聚焦,

焦距8mm

70um@8mm

D4/F13

 

Ø 4;

11.5

 11-15 mm

30-45 mm

聚焦,

焦距13mm

70um@13mm

D12/F2.8

Ø 12;

32.3

2.8 mm聚焦,

焦距2.8mm
2um@ 2.8mm
M12/C1.6

Ø 14;

17.4

0-1000 mm准直1.6mm

M15.5/C1.6

 

Ø 22;

20.6

0-1000 mm准直
1.6mm

M12/C7.6

 

Ø 14;

49.3

0-5000 mm准直7.6mm
 

 
IDS 主机尺寸与接口:
 
 
 

 
测试数据展示:
 
实验数据,皮米精度的稳定性

测量速度快,定位样品采样带宽10MHz

 
上图,77mm长的腔在20个小时内的实验测量数据表明数据误差范围在55pm! 上图,样品移动速度2米/秒,移动范围1m。
 
 
皮米精度位移激光干涉仪IDS sensors英文、中文产品册(点击图片下载)
 
 英文资料下载
 
中文资料下载
 
 


国内外用户名单(排名不分先后)
 
    attocube公司产品以其稳定的性能、极高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定,在全球范围内有超过了4000多位用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎......

北京大学

清华大学

中国科技大学

南京大学

中科院物理所

中科院半导体所

中科院武汉数学物理所

上海同步辐射中心

中科院上海应用技术物理研究所

北京理工大学

复旦大学

哈尔滨工业大学

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所……

 
 

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