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皮米精度位移测量激光干涉仪 IDS Sensors      
 

皮米精度位移测量激光干涉仪IDS Sensors

 
 

德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上,最新推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激光干涉仪。与FPS型号干涉仪相似,IDS型号同样适用于极端环境如高真空与高辐射环境并且具有极高精度与极高采样速率。IDS产品是适合工业集成与工业网络无缝连接的理想产品。产品在工业应用中具有广泛范围前景,包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量等。


 皮米精度位移测量激光干涉仪IDS sensors视频介绍:


 
 

+ 设计紧凑(50mm x 55mm x 195mm),适合工业集成

+ 工业化界面,含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面

+ 测量速度快,定位样品采样带宽10MHz

+ 环境补偿单元,不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度

+ 校正简单,配备可见激光(650nm)用于校正测量激光(1530nm)

+ 测量精度高,探测器分辨率高达1 pm


激光探头技术参数表(点击具体型号下载PDF详细参数):

IDS系列激光干涉仪可提供不同型号探头(探头尺寸,光斑大小不同)。

探头直径范围:1.2mm – 22mm。典型准直激光光斑:1.6mm 典型聚焦激光光斑:70 mm

最低工作温度:10mK, 1E-10mBar超高真空适用, 10MGy强辐射环境适用。

激光探头

 

型号

尺寸mm

(直径与长)

工作距离

(低反射,

高反射材料)

激光类型

(聚焦、准直)

光斑

大小

 

 

D1.2/F7

 

Ø 1.2;

7.5

5-9 mm

30-45 mm

聚焦,

焦距7mm

70mm@7mm

 

D4/F8

 

Ø 4;

11.5

6-10 mm

15-30 mm

聚焦,

焦距8mm

70mm@8mm

 

D4/F13

 

Ø 4;

11.5

11-15 mm

30-45 mm

聚焦,

焦距13mm

70mm@13mm

 

D12/F2.8

 

Ø 12;

32.3

2.8 mm

聚焦,

焦距2.8mm

2mm@ 2.8mm

 

M12/C1.6

 

Ø 14;

17.4

0-1000 mm

准直

1.6mm

 

M15.5/C1.6

 

Ø 22;

20.6

0-1000 mm

准直

1.6mm

 

M12/C7.6

 

Ø 14;

49.3

0-5000 mm

准直

7.6mm


 IDS 主机尺寸与接口
 
 
 
 实验数据,皮米精度的稳定性

测量速度快,定位样品采样带宽10MHz 

   
 上图,77mm长的腔在20个小时内的实验测量数据表明数据误差范围在55 pm!  上图,样品移动速度2米/秒,移动范围1m。

  皮米精度位移激光干涉仪IDS sensors英文、中文产品册(点击图片下载)

国内外用户名单(排名不分先后)
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北京大学

清华大学

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中科院物理所

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上海同步辐射中心

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北京理工大学

复旦大学

哈尔滨工业大学

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所……

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