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激光加热基座晶体生长炉      
 
 
    激光加热基座晶体生长(Laser-heated pedestal growth, LHPG)是在提拉法晶体生长基础上发展起来的一种以激光为热源的无垠涡单晶纤维生长工艺,由于其局部熔化特性,它亦可称为浮区熔化晶体生长 
    激光加热基座晶体生长(LHPG)具有无坩埚、无污染、温度梯度大、生长速度快、适合生长高熔点的高质量晶体等独特优势
 
 
Quantum Design引进的法国激光加热基座晶体生炉,有如下特点:  
  • 系统具有多束激光,激光功率根据需要可调
  • 最高温度可以达到2800摄氏度以上
  • 晶体提拉速度、旋转速度精密可调,提拉行程140mm
  • 可通 氩气、氧气等各种高纯气体气氛或者混合气体气氛
  • 压力可以达到10Bar
  • 真空度可以达到1X10-4mBar
  • 全过程CCD相机实时观测,非接触红外高温计实时监测温度

 
   
     
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