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室温纳米精度位移台      
 
EcoSmart Drive系列纳米精度位移台
 
attoECS系列位移台在提供极高精度位移控制的同时,保证了优异而极高的稳定性能,适用于室温、大气到超高真空环境中,负载可达几公斤,行程达到50mm,最小步长50nm,配备的光学位移传感器可将位移精度控制到10nm,提供多维度位移功能。

+ 在厘米级的行程范围内,达到纳米级高精度位移控制
+ 极高的机械稳定性
+ 位移驱动电压<45V,无需高压屏蔽
+ 10nm位移精度,+/-200nm位移重复性,<0.01%绝对精度
+ 特殊材质,兼容各种光学实验环境和超高真空环境
+ 快速样品更换装置

室温纳米精度位移台视频介绍:

 
 

ECS系列位移台技术参数表(点击具体型号下载PDF详细参数):

ECS系列线性位移器采用闭环(/NUM光栅式反馈)或开环控制,典型单步位移步长为: 50nm。位移范围最大为:50mm。位移器尺寸最小为:30X30 mm。负载最大24Kg

线性纳米精度位移台

 

型号

尺寸mm3

(长宽高)

步长

行程

(mm)

载重

(N)

 

ECSx3030

ECSx3030/NUM

30x30; 9.5

50nm

 

20

90

 

ECSx3040

ECSx3040/NUM

30x40; 9.5

50nm

 

25

120

 

ECSx3050

ECSx3050/NUM

30x50; 9.5

50nm

 

30

150

 

ECSx3060

ECSx3060/NUM

30x60; 9.5

50nm

 

35

180

 

ECSx3070

ECSx3070/NUM

30x70; 9.5

50nm

 

40

210

 

ECSx3080

ECSx3080/NUM

30x80; 9.5

50nm

 

50

240

 

ECSx5050

ECSx5050/NUM

50x50; 9.5

50nm

 

30

150

 

ECSxy5050

ECSxy5050/NUM

50x50; 16.4

50nm

25x25

150

 

ECSz5050

ECSz5050/NUM

50x50; 32

30nm

8

8



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   attoECS系列位移台资料(点击图片下载)
 
 
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