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3D纳米直写的又一作品 | nano-Dog突破纳米加工尺寸极限
 
    近期,瑞士SwissLitho公司利用3D纳米高速直写设备完成了 nano-Dog 贺卡的制作,尺寸仅有9.2μmx 5.5μm,Z轴精度1nm,突破了纳米加工尺寸的极限,是目前精度最高的纳米贺卡。
 
   喜气洋洋的旺旺狗,完美体现了这款设备的纳米直写能力(高直写精度 (XY: 10nm, Z: 1nm)),同时高直写速度,无需显影,无临近效应,无电子/离子损伤等特点逐渐受到科研工作者的青睐。2017推出的小面积直写系统NanoFrazor Scholar更是只有30mmx30mm的样品台,桌面配置,极大方便了实验室科研人员的研究工作。
  普通的AFM针尖可无法满足上述直写流程的需求,为此IBM专门研发并设计了热扫描探针。该针尖具有两个电阻加热区域,针尖上方的加热区域可以加热到1000℃。 第二处加热区域作为热导率传感器位于侧臂处,其能感知针尖与样品距离的变化,精度高达0.1nm。
   在每行直写进程结束后的回扫结构时,并不是通过针尖起伏反馈形貌信息,而是通过热导率传感器感应形貌变化,从而实现了比AFM快1000余倍的扫描速度,同时保证了3D直写的高精度。
   瑞士SwissLitho公司同时将于3.28-3.29在苏黎世举办第五届热探针研讨会,届时希望就热扫描探针及其他探针技术问题,与各位学者展开深入的探讨与交流。活动受到了热扫描探针及相关研究领域人员和热切关注,如果您对探针技术感兴趣,请点击https://swisslitho.com/event/tpw18/ 了解详情。
 
 
     
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